三氯氢硅生产过程中，原料硅粉中往往含有铝、铁、钙等杂质，在与氯化氢气体高温反应时生成氯化铝、氯化铁、氯化钙等金属氯化物，三氯氢硅废渣的处理系统，包括真空耙式干燥机、冷凝器、真空泵、收集罐、酸循环泵、酸吸收罐和合成液储罐，真空耙式干燥机的抽真空气相出口依次连接水冷凝器、冷凝液出口连接收集罐，液相出口和水冷凝器的冷凝液出口连接合成液储罐，真空耙式干燥机的蒸发气相出口连接酸吸收罐，酸吸收罐液相出口再通过酸循环泵分别连接酸吸收罐液相入口和淋洗。充分回收废渣中的有用材料，提高经济效益，减少环境污染。

(I)真空耙式干燥机系卧式间歇传导干燥设备，借助于中心轴上的耙叶，定时间隔正反向转动，在耙叶的不断搅拌下，物料与筒壁接触时，表面不断更新，且受到导热油间接加热，使物料内湿份不断汽化，同时被真空泵及时抽出。在真空度的作用下，湿份沸点降低，物料表面湿份蒸汽压远大于机内蒸发空间的湿份蒸汽压有利于其内部湿份蒸发，促进了干燥，从而达到干燥的目的。

(2)由于金属氧化物AlCl3的特殊性质，在标准大气压下，177.8°C升华。同理在真空状态下，随着AlCl3饱和蒸汽压的降低，较低温度下就有升华的可能，这样就很容易导致后序管道中AlCl3气体的凝固，堵塞管道。为满足工艺要求，往往在前期进料时，加入一定量的络合剂，该络合剂使得物料被抽真空时，金属氯化铝不易被蒸出，待在真空度下氯硅烷被蒸出后，再升温蒸出氯化铝，减少环境污染。